紫外清洗機是一種廣泛應用于半導體行業(yè)的清洗設備,其主要作用是去除半導體器件表面的污染物,從而提高其表面的清潔度,并保證器件的正常工作。
紫外清洗機的操作步驟如下:
1、準備工作:首先需要將紫外清洗機準備好,包括清洗腔室、噴嘴、傾斜角度、紫外燈等,同時(shí)需要保證清洗機內無(wú)任何雜質(zhì)。
2、選擇程序:根據需要清洗的半導體器件的類(lèi)型和污染物的種類(lèi),選擇相應的清洗程序。
3、清洗之前:在開(kāi)啟清洗程序之前,需要將半導體器件先清洗干凈。將器件置于去離子水中,輕輕地搓洗幾分鐘,然后用去離子水沖洗干凈。清洗后,應在紫外清洗機內進(jìn)行清洗程序。
4、開(kāi)啟清洗程序:?jiǎn)?dòng)清洗程序,紫外燈將開(kāi)始輻射。此時(shí)半導體器件將立即開(kāi)始被清洗。
5、時(shí)間控制:清洗時(shí)需要控制時(shí)間,一般情況下,清洗時(shí)間在5~10分鐘左右。時(shí)間太短會(huì )導致清洗,時(shí)間過(guò)長(cháng)則會(huì )浪費清洗機資源,增加清洗成本。
6、清洗結束:清洗結束后,需要將半導體器件取出并水洗干凈。用離子風(fēng)或干氮將半導體器件吹干即可。
需要注意的是,紫外清洗機的操作步驟不僅僅是以上這些,具體操作方式還需要根據清洗機的不同型號和半導體器件的要求進(jìn)行調整。同時(shí),為了保證清洗的效果和安全,清洗機的操作人員應該具備一定的理論知識和實(shí)踐經(jīng)驗,才能有效地操作清洗機。