勻膠機有很多種稱(chēng)謂，英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又稱(chēng)甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來(lái)說(shuō)，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。
1、勻膠機旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。勻膠機如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能精確標定實(shí)時(shí)的轉速。進(jìn)口的勻膠機雖然大部分能標定轉速，但是大部分轉速精度沒(méi)有標準認定。
2、真空吸附系統的構造
勻膠機的真空泵一定要無(wú)油的，勻膠機的真空泵壓力標定準確，國內生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因為任何勻膠機的真空泵的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì )讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統造成*堵塞。用過(guò)國產(chǎn)勻膠機的客戶(hù)常常會(huì )關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題，這一點(diǎn)許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì )開(kāi)始旋轉。
3、材質(zhì)的選擇
對于半導體化工行業(yè)的應用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類(lèi)化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà)，將會(huì )導致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果TA-280系列高性能勻膠機都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
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